随着我国半导体、制芯业的发展，高纯气体管道的应用也越来越广，像半导体、电子、医药、食品等行业都是不同程度的使用了，因此它的施工对于我们来说也越来越重要。

 

       适用范围

       本工艺主要适用于电子、半导体厂房的气体管道安装、测试，焊接薄壁不锈钢气体管道，同时也适用于医药、食品等厂房的洁净管道施工。

 

       主要施工要点

    （一）施工前的准备

       1、组织劳动力，准备施工中使用的机具、设备。

       2、搭建预制间，洁净度1000。

       3、施工图分析，根据工程特点及实际情况编制施工方案，做好技术交底。

 

    （二）管道预制

       1、由于高纯气体管道要求的洁净度较高，为了减少安装现场的焊接工作量，保障洁净度，所以管道的施工先在1000的预制间中预制，施工人员应穿洁净服，使用的工机具应保障洁净，另外施工人员应有较强的洁净意识，施工过程尽量减少对管子的污染。       

       2、管道的下料管道下料使用的是切管工具，切出的端面和管轴心线垂直，切管时应采取措施以免外界的灰尘、空气对管子里面的污染，下好的料应分组编号以便于组对焊接。       

       3、管道焊接，管道焊接前应先编制焊接程序输入到自动焊机，试焊样品，样品合格后，方能焊接，进行完一整天的焊接后，再焊样品，如果样品合格，由于焊接参数一直储存在焊机里，自动焊机焊接时又很稳定，所以焊缝质量也是合格的。焊接质量由微机控制，减少了由于人为因素对焊接质量的影响，既上升了工作效率，又能得到品质高的焊缝。

 

     （三）现场安装

       1、高纯气体管道的现场安装应整洁干净，安装人员定要戴洁净手套。

       2、支架设置距离应符合图纸设计要求，每个固定的点都套上EP管的橡胶套。

       3、预制好的管子运到现场，不能磕碰踩踏，不能直接放到地面上，担上支架后，上管卡。

       4、现场的管道焊接和预制阶段管道焊接程序相同。

       5、焊接完毕经有关人员对焊口样品及管道上的焊口检验合格后，贴焊口标签，填写焊接记录。

     （四）系统测试

       1、系统检测是高纯气体施工的一环，它是在管道压力试验、吹扫结束后进行。

       2、系统测试使用的气体先是合格气体，气体的洁净度、含氧量、漏点及碳氢化合物应符合要求。

       3、指标的检测是通过在管道里充入合格气体，在出口处用仪器测量，管道里吹出的气体合格了，说明这条管路指标合格了。

 

       材料

       高纯气体管道按其流通介质的工艺要求一般采用薄壁不锈钢管，通常采用316L（00Cr17Ni14Mo2）。主要有铬、镍、钼三种合金元素，铬的存在上升了不锈钢在氧化性介质中的耐腐蚀性，形成一层富铬氧化膜；而钼的存在则上升了不锈钢在非氧化性介质中的耐腐蚀性；镍是奥氏体的形成元素，它们的存在既上升了钢的耐腐蚀性，又上升了钢的工艺性能。