六氟化硫以其良好的绝缘性能和灭弧性能，被应用于电器工业，如：断路器、高压开关、高压变压器、气封闭组合电容器、高压传输线、互感器等。SF6还因其化学惰性、无毒、不燃及无腐蚀性，还被应用于金属冶炼（如镁合金熔化炉保护气体）、航空航天、医疗（X光机、激光机）、气象（示踪分析）、化工（新型灭火器）等。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，被大量应用于微电子技术领域。随着当今科技的发展，SF6涉及的领域不断扩展，被越来越多的基础领域和科技领域应用，在制冷行业，用六氟化硫做制冷剂，制冷范围可在-45℃～0℃之间。
       化学性质稳定。微溶于水、醇及醚，可溶于氢氧化钾。不与氢氧化钠、液氨、盐酸及水起化学的反应。300℃以下干燥环境中与铜、银、铁、铝不反应。500℃以下对石英不起作用。250℃时与金属钠反应，-64℃时在液氨中反应。与硫化氢混合加热则分解。200℃时，在特定的金属如钢及硅钢存在下，能促使其缓慢分解。